笔者按：此文仅为笔者在多晶硅生产过程中的一些总结，仅为个人观点，不具备权威性，愿与行业人员进行探讨，以得到进一步提升。不足之处，还望指正。

    DCS（二氯二氢硅）一直以来因其物料的特殊性深深的困扰着改良西门子法的多晶硅生产，这一切皆源于它的存在对多晶硅生产过程有着双面性，既有利，又有弊。对于生产过程控制比较好企业而言，DCS的存在对于其多晶硅生产有着有利的一面，即适量的DCS的存在对于多晶硅生长速度及能耗都是有益的。而对于生产过程控制比较差的企业而言，DCS的存在几乎对多晶硅生产是一种灾难，即不仅仅会产生大量的无定形硅，影响产品质量，严重的还会堵塞设备和管道，其极强的物化活性极容易引起火灾，甚至发生爆炸。当然，对于任何多晶硅生产企业而言，都希望通过控制DCS的含量来促进企业的生产，减少其对生产的不利影响。正是基于这种考虑，笔者将从生产过程控制的角度来进行分析，以探讨如何在生产过程中对DCS进行控制，利

备注：本文中部分内容为网上收集，后为笔者在生产中进行了验证。

1、

目前，多晶硅市场价格一直低位徘徊，暂无上升的迹象。对于国内光伏产业下游而言，这无疑是一件好事，原料成本降低使其国际市场竞争力进一步加强。对于国内多晶硅生产企业来讲，这无疑是一件坏透到顶的霉事，绝大多数企业无法开工，盈利更是无从谈起。针对这种现象，国内一些行业人士也撰文对国内的多晶硅生产状况进行了分析，总而言之，各有特色。

借此机会，笔者从一个多晶硅生产运营人员的角度来对国内改良西门子法多晶硅生产的主要生产成本进行分析，与大家一起进行探讨。对于文中存在问题的一些观点，还请大家给予指正。

注：本文为笔者个人观点，欢迎大家讨论，不足之处，还请指正！

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五、冷氢化生产探讨

（一）、冷氢化面临的生产问题：

在前面笔者已经提到从传统的改良西门子法生产工艺角度来看，冷氢化主要工艺其实是由TCS

注：本文为笔者个人观点，欢迎大家讨论，不足之处，还请指正！

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    前两天有一位朋友问笔者冷氢化电加热器的损坏问题，由于目前国内的多晶硅生产企业真正运行冷氢化系统的没有几家，因此一直没有过多的进行关注。但看到他发过来的照片，发现加热器损坏还是蛮严重的。再结合以前就听说冷氢化经常因为设备、管道堵塞而不能正常运营，因此这两天静下心来仔细研究了一下冷氢化设备和工艺，结合笔者以前的经验提出自己对冷氢化的一些想法，供大家讨论。

    或许是基于提升自身竞争优势原因，国内企业一直将冷氢化搞得非常神秘，不管有没有开车，开车是否正常，都将其限定在特定的人群，一定的范围之中。这样从表面上来看，技术保密对于企业非常重要，但是从生产运行的角度来看，过度的保密反而影响企业的生产技术发展，这点在企业没有完全掌握此项技术的时候表现的更为明显。没有开放式的共同研究，单凭有限的人员对工艺包的消化，很难快速的达到预期的效果。这一点需要国内的生产企业重新进行审视。

一、冷氢化技术的发展史：

    电阻率是多晶硅产品质量检验最主要的指标之一，其数值高低可以反映出由其生产的硅片的转化率的大小。在多晶硅生产中，电阻率的高低可以反映出多晶硅产品中金属杂质含量的多少，因此，其也是多晶硅生产中过程控制的主要参考数据。一般而言，金属杂质含量越高，则多晶硅的电阻率越低，金属杂质越低，则对应多晶硅的电阻率越高。当然，多晶硅的少子寿命也相同于此。

    由此可以看出，金属杂质含量是影响多晶硅电阻率的主要因素之一。在多晶硅生产中，金属杂质主要来源于进入还原炉中的精制三氯氢硅原料，因此精制三氯氢硅中的金属杂质含量决定着多晶硅的电阻率。在一般的多晶硅生产中，三氯氢硅的来源一般有四种途径，即合成生产，氢化生产，还原自循环及外购料。

    在这四种途径中，合成生产的三氯氢硅对多晶硅产品质量影响最大，这是因为合成生产使用的原料就是工业硅粉和氯气、氢气，而金属杂质主要来源于工业硅粉。因此，对于合成生产的三氯氢硅的工艺处理除自身的洗涤塔洗涤和精馏外，还要注重于工业硅粉的质量，使用高质量的硅粉作为生产原料，即尽可能的在源头进行控制。当然，在实际生产中，精馏